Historia kalwarii rozpoczyna się w latach 1848–1883, kiedy proboszczem w parafii Narodzenia Najświętszej Maryi Panny w Pszowie był ksiądz Paweł Skwara. Nie udało mu się jednak doprowadzić do budowy obiektu sakralnego.
W 1905 roku ks. Loska zakupił ziemię o odpowiedniej powierzchni i można było przystąpić do budowy upragnionej Kalwarii. Postanowiono, że zanim zostaną wybudowane murowane kapliczki, powstaną prowizoryczne stacje. Rzeczywiście, już w 1906 roku można było poświęcić 14 namalowanych farbami olejnymi na blasze obrazów. Te zostały przytwierdzone do drewnianych słupów i umieszczone w miejscu przyszłych kaplic. Dalsze prace nad Kalwarią ruszyły dopiero kilka lat później, ale już w 1911 roku gotowe były 3 kaplice, w tym budynek kalwaryjski kościoła. Wszystkie stacje zostały zaprojektowane przez jednego z wrocławskich architektów.
Rozbudowę Kalwarii przerwała I wojna światowa. Sama Kalwaria prawie nie ucierpiała na skutek działań wojennych, spłonęła jedynie część wyposażenia kaplic. Pomimo że miejsce to było popularnym punktem pielgrzymkowym, z wolna popadło w zapomnienie i zostało zaniedbane.
Kontynuatorem prac został ks. kanonik Mikołaj Knosała, który w 1928 roku rozpoczął prace nad budową pozostałych kaplic. Będące kluczowym elementem wystroju kapliczek figury zostały wykonane przez firmę Panka z Poznania, jedno z wnętrz zaprojektował i wykonał Ludwik Konarzewski. Mieszkańcy Pszowa aktywnie włączyli się w budowę Kalwarii, pracowano bardzo szybko i już 1 września 1929 ks. infułat Wilhelm Kasperlik, wikariusz generalny, mógł poświęcić gotową Kalwarię.
Aktualnie kaplica Zmartwychwstania Pańskiego na Kalwarii Pszowskiej pełni rolę kościoła parafialnego dla parafii Zmartwychwstania Pańskiego.
